等離子清洗機實際上是一個表面處理系統，配置的兼容性非常重要，要想工作穩定，每一個零部件的運行都不能出任何差錯。尤其是對于UPH要求很高的工廠，一旦出現故障，又不能夠及時排除，損失會非常大！我們今天根據多年的研發、生產及維護經驗，整理出真空等離子清洗機常見的故障報警及處理方法。

　　1.等離子清洗機真空泵熱過載保護，請檢查線路和真空泵故障

　　①出現此情況請首先觀察系統參數設置有無變化，突然斷電會引起系統參數歸零，導致設備出現此類報警。

　　②如系統參數無變化，請確認熱繼電器是否自動保護，按復位鍵，然后啟動真空發生系統。如沒有自動保護，請檢查電氣線路有無斷路或短路情況。

　　③檢查導線是否有斷路或短路情況。

　?、苋鐭o上述異常，請檢查真空泵。

　　2.等離子清洗機三相供電相序異常，請更換相序

　?、儆邢嘈虮Ｗo繼電器，如出現此類報警，請更換相序。

　　3.一路供氣壓力過低，請檢查氣體是否開啟或氣體是否耗盡

　　4.二路供氣壓力過低，請檢查氣體是否開啟或氣體是否耗盡

　　3及4是氣路控制系統報警，出現此報警請先檢查氣體是否打開或耗盡。如氣體沒有問題，請檢查設備減壓表、氣路電磁閥及流量計是否正常工作。檢查電氣線路是否出現斷路或短路。

　　5.放空氣體壓力過低，請檢查氣體是否開啟或氣體是否耗盡

　　如出現此類報警，請檢查腔體底部的破真空所用氣路電磁閥是否正常工作，線路有無斷路或短路。