等離子體是氣體分子在真空、放電等特殊場合下產(chǎn)生的物質(zhì)。等離子清洗/刻蝕產(chǎn)生等離子體的裝置是在密封容器中設(shè)置兩個電極形成電磁場，用真空泵實現(xiàn)一定的真空度，隨著氣體越來越稀薄，分子間距及分子或離子的自由運動距離也越來越長，受磁場作用，發(fā)生碰撞而形成等離子體，同時會發(fā)生輝光。等離子體在電磁場內(nèi)空間運動，并轟擊被處理物體表面，從而達到表面處理、清洗和刻蝕的效果。

　　等離子清洗機可用于除去透射電鏡樣品及樣品桿上的污染，防止碳沉積以降低圖像分辨率及對樣品微區(qū)分析造成誤判。還可利用該儀器清洗各類光闌等電子顯微鏡配件。特別適用于場發(fā)射透射電鏡和場發(fā)射掃描電鏡。用這種低能高頻等離子體清洗樣品表面，不會改變樣品元素成份和表面結(jié)構(gòu)特征。

　　該清洗機具有H2，O2，Ar三組分通道。從而能夠利用H2/02組分，可減小樣品濺射損傷，還可對多孔碳膜進行無破壞的清洗。從而提高樣品在低電壓下的成像能力，在化學(xué)微量分析時提高其精度。無油真空系統(tǒng)：泵體部分由多級隔膜泵和超靜音分子泵組成，真空度可達10E-4Pa等級，在保證真空度的同時，可在兩分鐘之內(nèi)達到抽真空和放氣過程；整個清洗過程在4分鐘內(nèi)可以完成。還可清洗大部分標(biāo)準(zhǔn)透射電鏡樣品桿以及掃描電鏡樣品載臺及不規(guī)則樣品，樣品室直徑>8cm，樣品室高度>5cm。

　　等離子清洗機根據(jù)它用途的不同，可選用多種構(gòu)造的清洗設(shè)備，并可通過選用不同種類的氣體，調(diào)整裝置的特征參數(shù)等方法使工藝流程實現(xiàn)，但等離子體清洗裝置的基本結(jié)構(gòu)大致是相同的。關(guān)于等離子清洗機的相關(guān)知識點就先說到這里了，這款產(chǎn)品還有很多的常識等著各位來發(fā)現(xiàn)與了解，如果您還想要了解更多內(nèi)容，還請先關(guān)注好我們，小編會不定期在此跟大家分享更多的信息。